据启信宝,北交所上市公司凯德石英(835179)新增专利信息,专利权人为凯德石英,发明人是张忠恕、边占宁、刘利、陈强、张连兴、冯继瑶、于洋、周洁、王志刚、赵晓亮、李翔星、卢亮。专利授权日为2024年11月12日,专利名称为“一种外延工艺用流道盖板”,专利类型为我国实用新型专利,专利请求号为CN2.9。
该专利摘要显现:本请求触及气相成膜技术的范畴,供给一种外延工艺用流道盖板,其包含成膜板和加强板,所述加强板平行于所述成膜板设置,且所述加强板坐落所述成膜板的上方,所述成膜板的左右两边均衔接有支撑侧板;所述支撑侧板的一侧用于与目标结构抵接,另一侧与所述加强板衔接。本请求具有在保证盖板自身不至于接受过大压力的一起,统筹单晶薄膜的成膜功率的作用。
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